韩国LS-迈克比恩伺服系统

多种产品线 50W-37KW

中空轴电机 （60/130法兰）

搭载自行研制的编码器

增量式：1024-6000P/R

串行：19Bit单圈，16Bit多圈绝对值

Spinner电机（半导体设备专用）

适用于：晶元涂胶/显影/清洗

DD电机：低转速、高精度、高扭矩

3.0-160N.m产品多样化

直线电机：高刚性、高精密

长行程：5000—10000mm

Products Range

迈克比恩伺服系统

多种产品线 50W-37KW 中空轴电机 （60/130法兰） 搭载自行研制的编码器 增量式：1024-6000P/R 串行：19Bit单圈，16Bit多圈绝对值 Spinner电机（半导体设备专用） 适用于：晶元涂胶/显影/清洗 DD电机：低转速、高精度、高扭矩 3.0-160N.m产品多样化 直线电机：高刚性、高精密 长行程：5000—10000mm